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單一平面電容傳感器原理與應(yīng)用
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已知的電容傳感器很少將極板置于同一平面,如圖1。若被測物為絕緣體,此種并聯(lián)多極板單一平面放置的,電容敏感元件之微小面積增量(ΔF=LΔx)上生成的電容值,按圖中所示的電力線,用近似半圓弧形線代替(也可用近似橢園形線代替),近似有:

式中a為極板之間的間隙;L為極板長度;x為沿極板寬度方向的變量;ΔX為寬度變化增量;εx為被測物介電常數(shù),X從0到b/2(b為單塊極板寬度)積分,再乘2,再乘極板對數(shù),得總電容量:

式中K0為實際情況對上述假設(shè)情況的一個修正,同時包含極板的并聯(lián)對數(shù)(圖中為三對)。由此可知:被測物的組成成分變化能引起總介電常數(shù)εx的變化,輸出電容值Cx亦隨之變化,間接測定物料某特定成分;若被測物是介于導(dǎo)體與絕緣體之間,Cx還要并聯(lián)C Rx(圖2b)。其中C>>Cx是極板絕緣薄膜(如漆)兩邊面積之間的電容值,Rx為被測物在傳感器極板之間的電阻:Rx=1/Sx,在此Sx是極板間電導(dǎo),微小極板面積增量(ΔF=LΔx)上的電導(dǎo)ΔSx=Δ(1/Rx),亦可近似表為:

式中σx為被測物的電導(dǎo)率,Sx隨σx變化。

電流流過圖2b電路,其瞬間電流與電壓關(guān)系為:

式中U(s)和I(s)為拉氏運算子電壓與電流;Zx(s)為拉式運算子總阻抗;1/SC為運算子容抗,引入運算子阻抗Z,容抗1/SC與感抗SL之后,電路的微分方程變?yōu)榇鷶?shù)方程,電路的分析類似于直流電路;只當(dāng)電信號為穩(wěn)定的正弦波(或余弦波)時,式中的S=jω為虛數(shù),感抗與容抗才變?yōu)閖ωL與1/jωC;電壓與電流才變?yōu)榻涣饔行щ妷号c有效電流,它類似于富里埃變換,所以圖2b敏感輸出可表示為電容性運算子阻抗Zx:

若被測物為良導(dǎo)體,Zx便為Cx1與Cx2串聯(lián)值(圖2c)。Cx1為傳感器的左邊極板與被測物間的絕緣漆與空氣隙為中間介質(zhì)的電容量;Cx2為右邊的電容量。Cx1與Cx2隨極板與被測物之間的耦合面積及空氣隙的大小而變化。由上可知:Zx隨被測物εx、Sx、微小空氣隙δx、耦合面積Fx等變化而變化。若被測物厚度<20~25mm,還與厚度有關(guān)。

圖3a的Zx/fx變換輸出:fx≈1/(2RZx),脈沖占空因素由W調(diào)整;圖3b用集成時基電路組成,輸出fx與負(fù)脈沖寬度T1為:


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