1、真空的定義 　

　真空系統(tǒng)指低于該地區(qū)大氣壓的稀簿氣體狀態(tài) 　

2、真空度 　　

處于真空狀態(tài)下的氣體稀簿程度，通常用“真空度高”和“真空度低”來(lái)表示。真空度高表示真空度“好”的意思，真空度低表示真空度“差”的意思。　　

3、真空度單位 　　

通常用托（Torr）為單位，近年國(guó)際上取用帕（Pa）作為單位。　　

1托＝1/760大氣壓＝1毫米汞柱　　

4、托與帕的轉(zhuǎn)換 　　

1托＝133.322帕　或　1帕＝7.5×10-3托　　

5、平均自由程 　　

作無(wú)規(guī)則熱運(yùn)動(dòng)的氣體粒子，相繼兩次碰撞所飛越的平均距離，用符號(hào)“λ”表示。 　　

6、流量 　　

單位時(shí)間流過(guò)任意截面的氣體量，符號(hào)用“Q”表示，單位為帕·升/秒（Pa·L/s）或托·升/秒（Torr·L/s）。　　

7、流導(dǎo) 　　

表示真空管道通過(guò)氣體的能力。單位為升/秒（L/s），在穩(wěn)定狀態(tài)下，管道流導(dǎo)等于管道流量除以管道兩端壓強(qiáng)差。符號(hào)記作“U”。　　

U＝Q/(P2- P1) 　　

8、壓力或壓強(qiáng) 　　

氣體分子作用于容器壁的單位面積上的力，用“P”表示。　　

9、標(biāo)準(zhǔn)大氣壓 　　

壓強(qiáng)為每平方厘米101325達(dá)因的氣壓，符號(hào)：（Atm）。　　

10、極限真空 　　

真空容器經(jīng)充分抽氣后，穩(wěn)定在某一真空度，此真空度稱為極限真空。通常真空容器須經(jīng)12小時(shí)煉氣，再經(jīng)12小時(shí)抽真空，最后一個(gè)小時(shí)每隔10分鐘測(cè)量一次，取其10次的平均值為極限真空值。 　　

11、抽氣速率 　　

在一定的壓強(qiáng)和溫度下，單位時(shí)間內(nèi)由泵進(jìn)氣口處抽走的氣體稱為抽氣速率，簡(jiǎn)稱抽速。即Sp＝Q/（P－P0） 　　

12、熱偶真空計(jì) 　　

利用熱電偶的電勢(shì)與加熱元件的溫度有關(guān)，元件的溫度又與氣體的熱傳導(dǎo)有關(guān)的原理來(lái)測(cè)量真空度的真空計(jì)。　　

13、電離真空計(jì)（又收熱陰極電離計(jì)）　　

由筒狀收集極，柵網(wǎng)和位于柵網(wǎng)中心的燈絲構(gòu)成，筒狀收集極在柵網(wǎng)外面。熱陰極發(fā)射電子電離氣體分子，離子被收集極收集，根據(jù)收集的離子流大小來(lái)測(cè)量氣體壓強(qiáng)的真空計(jì)。　　

14、復(fù)合真空計(jì) 　　

由熱偶真空計(jì)與熱陰極電離真空計(jì)組成，測(cè)量范圍從大氣~10-5Pa。 　　

15、冷陰極電離計(jì) 　　

陽(yáng)極筒的兩端有一對(duì)陰極板，在外加磁場(chǎng)作用，陽(yáng)極筒內(nèi)形成潘寧放電產(chǎn)生離子，根據(jù)陰極板收集的離子流的大小來(lái)測(cè)定氣體壓強(qiáng)的真空計(jì)。